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【世界快播报】长鑫存储公开“半导体光刻补偿方法”专利

近日长鑫存储技术有限公司公开多项专利,其中一条名称为“半导体光刻补偿方法”,公开号为CN114675505A。专利摘要显示,本申请实施例属于半导

07月03日 05:55 行业